晶方科技(603005.SH)：MEMS传感器芯片先进封装测试平台项目获得立项批复

智通财经APP讯，晶方科技(603005.SH)发布公告，近日，公司收到中国科学技术部高技术研究发展中心下发的《关于国家重点研发计划“智能传感器”重点专项2022年度项目立项的通知》(国科高发计字【2022】59号)，公司作为牵头承担单位申报的“MEMS传感器芯片先进封装测试平台”项目(项目编号：2022YFB3207100)获得立项批复。

主要针对高端MEMS传感器先进封装测试需求，以核心工艺建模仿真与验证为基础，突破一系列晶圆级键合、垂直互连、激光划片等共性关键技术;形成硅和玻璃通孔晶圆级、集成无源器件晶圆级、扇出型晶圆级、MEMS与ASIC晶圆级集成、和高可靠性系统级封装等成套先进封装工艺;建立基于标准的面向图像传感器、硅麦克风、加速度计、陀螺仪、压力传感器、红外传感器、流量传感器等高端传感器的先进封装测试公共服务平台，面向行业开展服务。