危机过后，阿斯麦（ASML.US）即可向中芯国际（00981）交付EUV光刻机？

本文来自微信公众号“芯智讯”，作者：林子。

早在2018年初，阿斯麦（ASML.US）与中芯国际（00981）正式达成了首台最先进的EUV光刻机的采购订单，价值约1.2亿美元，原本预计将于2019年底交付，但是却因荷兰政府没有向阿斯麦发放新的出口许可证，导致迟迟无法交付。外界都认为，这是受到了美国政府的干预。虽然，荷兰政府否认了这一说法。

近期，受公共卫生事件的影响，阿斯麦也下调了对于今年1季度的营收预期，减少了1/4左右，预期营收为24-25亿美元。而根据阿斯麦此前公布2019年财报显示，2019年交付了26台EUV光刻机，预计2020年交付35台EUV光刻机，2021年则会达到45台到50台的交付量，是2019年的两倍左右。阿斯麦表示公共卫生事件没有对他们的光刻机生产制造带来影响，需求也没发生变化，只是供应链被限制，导致交付延期。阿斯麦称一季度无法确认的订单将转移到今年二、三季度中。

另外，阿斯麦还出乎意料的对外表示，“受到公共卫生事件影响，公司提供给武汉以及其它地区客户的EUV设备出货，因旅游限制而被延迟”。阿斯麦这里提到的EUV设备的武汉客户应该就是中芯国际。因为中芯国际在武汉有一座12英寸晶圆厂，并且此前国内也只有中芯国际向阿斯麦订购了一台EUV光刻机。

也就是说，目前阿斯麦向中芯国际交付光刻机除了公共卫生事件影响之外，已经没有了其他阻碍，只需等待因公共卫生事件过后即可交付。显然，这对于中芯国际来说无疑是一个好消息。不过，在真正交付之前，我们还是不要太乐观，毕竟这不是阿斯麦自己说了算的，还需要看荷兰政府是否有向阿斯麦发放新的出口许可证，以及美国后续是否仍然会出手阻挠。

值得一提的是，3月31日晚间，中芯国际发布了2019年年报。根据年报显示，2019年中芯国际营收31.16亿美元，毛利润6.425亿美元，毛利率20.6%，年内利润为1.59亿美元，同比增长1.06倍。公司拥有人应占利润为2.347亿美元，同比增长75%。

中芯国际表示，集团在先进先进研发方面也取得了突破性进展。第一代14nmFinFET技术已进入量产，在2019年四季度贡献约1%的晶圆收入，预计在2020年稳健上量，而第二代FinFET技术平台持续客户导入。

而对于后续的先进制程，此前中芯国际联席CEO梁孟松博士也透露了中芯国际后续的N+1、N+2工艺的情况。

梁孟松博士表示，中芯国际的N+1工艺和现有的14nm工艺相比，性能提升了20%，功耗降低了57%，逻辑面积缩小了63%，SoC面积减少了55%。从逻辑面积缩小的数据来看，应该是7nm工艺。梁孟松博士也表示，N+1代工艺在功耗及稳定性上跟7nm工艺非常相似，但性能要低一些(业界标准是提升35%)，所以中芯国际的N+1工艺主要面向低功耗应用的。而在N+1之后，中芯国际还会有N+2，这两种工艺在功耗上表现差不多，区别在于性能及成本，N+2显然是面向高性能的，成本也会增加。

此外，梁孟松博士还表示，在当前的环境下，N+1、N+2代工艺都不会用EUV工艺，等到设备就绪之后，N+2之后的工艺才会转向EUV光刻工艺。这也意味着后续的第一代的7nm工艺，中芯国际无需EUV光刻机也能实现量产。

但是N+2之后的先进制程则必须依赖于EUV光刻机才能实现。相比之下，台积电和三星的基于EUV工艺的7nm早已量产，马上新一代的5nm工艺也即将量产。因此，对于中芯国际来说，越早拿到EUV光刻机，也就越早能够开始基于EUV工艺的先进制程的研发和测试。